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元素分析线面扫功能是 EID 软件的一个可选项。元素分析线面扫功能可以揭示样品中元素的面分布情况。用户可以自定义像素分辨率和像素停留时间，进而获得元素分布情况。实时面扫算法即时统计各像素的元素含量，实时显示元素的面分布情况。因此，无论是面扫中还是面扫后，元素都可以随时标定。 可以对整张图像进行面扫，也可以对某个选定区域进行面扫，这样更节省时间。选定一条直线，则可进行线扫描分析。 先设置以下三个主要参数：扫描像素数、像素停留时间和扫描循环次数。而后，即可轻松地输出结果和生成报告。 主要特点
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