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简介

第六代 Phenom ProX 台式扫描电镜填补了光学显微镜和落地式扫描电镜分析之间的空白,从而扩展了研究设施的能力。除了集成的能谱仪(EDS)外,它还提供快速、高分辨率的成像功能,以实现稳定、易于操作的元素分析。

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规格参数

 

Phenom Pro

Phenom ProX

Phenom XL

光学放大

20 - 135 X

20 - 135 X

3 - 16 X

电子光学放大

160 - 350,000 X

160 - 350,000 X

160 - 200,000 X

分辨率

优于 6 nm

优于 6 nm

优于 10 nm

数字放大

Max. 12 X

Max. 12 X

Max. 12 X

光学导航相机

彩色

彩色

彩色

加速电压

5 kV - 20 kV  连续可调

5 kV - 20 kV  连续可调

5 kV - 20 kV  连续可调

真空模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高真空模式

探测器

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

能谱探测器

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

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展示

案例分析

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